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            液晶玻璃行業凈化工程案例

            液晶玻璃行業凈化工程案例

              低溫多晶矽薄膜電晶體液晶平面顯示器(LTPSTFTLCD),指其TFT中半導體薄膜的結晶形態是多結晶(Polycrystalline),并非是非結晶(AMORPHOUS)。




              LTPSTFTLCD的特點:


              1、載體的移動度為非晶矽的300倍2、低耗電3、高亮度4、高解析度5、輕薄短小6、高品質7、完美的系統整合


              LTPS技術所需要的環境需要絕對的無塵,通過ISO14644-1標準定義,我們根據制程的需要分為千級無塵室和百級無塵室。

                有機物細菌會在環境中急速的繁衍,大概在0.1un-0.3um粒徑并且會附著在灰塵顆粒上,當我們在整個制程中不加以控制細菌繁衍或灰塵時,當有機物細菌大到一定程度會成為導體,對LTPS的損傷是致命的,損失也是相當慘重的。


              該如何有效控制灰塵或者有機物細菌呢?


              采用空調過濾系統+無塵室系統

             

            空調過濾系統布局圖


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