液晶玻璃行業凈化工程案例

  低溫多晶矽薄膜電晶體液晶平面顯示器（LTPSTFTLCD），指其TFT中半導體薄膜的結晶形態是多結晶（Polycrystalline），并非是非結晶（AMORPHOUS）。

  LTPSTFTLCD的特點：

  1、載體的移動度為非晶矽的300倍2、低耗電3、高亮度4、高解析度5、輕薄短小6、高品質7、完美的系統整合

  LTPS技術所需要的環境需要絕對的無塵，通過ISO14644-1標準定義，我們根據制程的需要分為千級無塵室和百級無塵室。

    有機物細菌會在環境中急速的繁衍，大概在0.1un-0.3um粒徑并且會附著在灰塵顆粒上，當我們在整個制程中不加以控制細菌繁衍或灰塵時，當有機物細菌大到一定程度會成為導體，對LTPS的損傷是致命的，損失也是相當慘重的。

  該如何有效控制灰塵或者有機物細菌呢？

  采用空調過濾系統+無塵室系統

空調過濾系統布局圖